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                          近代物理實驗儀
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                          TPY-2型 自動橢圓偏振測厚儀
                          2016-04-14
                          TPY-2型 自動橢圓偏振測厚儀
                          產品詳細資料

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                                  儀器采用消光法自動測量薄膜厚度和折射率,具有精度高、靈敏度高以及自動控制等特點。光源采用氦氖激光器,功率穩定波長精度高。
                                  儀器采用USB接口與電腦連接,配套軟件功能齊全,具有多樣數據采集及處理方式,適用于不同用戶的需要。


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                          測量范圍薄膜厚度范圍:1nm-300nm;折射率范圍:1-10偏振器方位角范圍0°-180°讀取分辨率為0.05°
                          入射光波長632.8nm偏振器步進角0.014°/步
                          入射角調節范圍20°- 90°精度≤0.05°測量膜厚±0.5nm
                          光學中心高80mm折射率重復性精度±0.05
                          測量厚度較 小示值≤1nm儀器測量精度±0.5nm(薄膜厚度在10-100nm時)
                          允許樣品尺寸φ10-φ140mm,厚度≤15mm外形尺寸580×390×320(mm)
                          度盤刻度每格1度主機重量28kg

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                          TPY-2實驗主機、電控系統、USB接口、二氧化硅膜樣片、配套軟件
                           
                          * 計算機及打印機(需另配)


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